S rozvojom čínskeho polovodičového priemyslu sa vývoj kľúčových komponentov pre technologické zariadenia stal kritickým obmedzením vývoja zariadení. Keďže volanie po lokalizácii domácej polovodičovej technológie narastá, bude prekonaných stále viac a viac úzkych technológií v polovodičovom priemysle. Na základe dlhoročných skúseností v polovodičovom priemysle naša spoločnosť vyvinula dutý-vysokorýchlostný{3}} servomotor s dutým hriadeľom na adsorpciu plátkov v zariadeniach na poťahovanie, vývoj a čistenie polovodičov. Tento motor sa vyznačuje vysokou akceleráciou, širokým rozsahom otáčok a vysokou odozvou a bol široko chválený zákazníkmi v tomto odvetví.
Aplikácie servomotora s dutým -hriadeľom:
Expozičné a vyvolávacie zariadenia (nanášanie, vyvolávanie): Hlavné zariadenie na fotolitografické procesy, riadenie poťahovania, expozície a vyvolávania.
Zariadenia na čistenie, poťahovanie, vyvolávanie a odstraňovanie filmu.
Vhodné na fyzické oplachové čistenie, čistenie častíc a sprejové procesy.
Špecifikácie produktu servomotora s dutým hriadeľom a oblasti použitia:
750W/1000W – 5000, 6000 ot./min
Oblasti použitia (vyššie-modely):
8-palcové a 12-palcové polovodičové vybavenie.
Procesy ako poťahovanie, vyvolávanie, čistenie a leptanie.
Maximálne zrýchlenie môže dosiahnuť okamžité zrýchlenie 50 000 R/S².
Špeciálna konštrukcia konca hriadeľa zaisťuje najnižší koeficient hádzania konca hriadeľa.
